當前，行業(yè)備受青睞的產(chǎn)品是氣相沉積（CVD )硅碳材料，通過硅烷、碳氫氣體依次沉積形成致密結(jié)構(gòu)，首效高，循環(huán)好，膨脹低，獲得產(chǎn)業(yè)界廣泛的認可。國內(nèi)外各大企業(yè)積極投入硅基負極材料的應用研發(fā)，我公司研發(fā)定制的硅烷沉積爐備受關(guān)注。近日，福建、寧波等地多家客戶到訪我公司考察硅烷沉積爐并開展實驗，進一步推進產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。

雙方在科源窯爐實驗室就以下問題展開討論：

1.設(shè)備的氣路設(shè)計及進氣方式的改進；

2.探討如何優(yōu)化設(shè)備為自動進料系統(tǒng)；

3.焚燒爐在沉積過程中不可或缺的重要作用。

  我公司商務及技術(shù)人員陪同考察，并就硅烷沉積實驗爐操作進行講解，分享我公司在實驗過程中避免閃爆問題的對策，客戶對我公司產(chǎn)品性能、生產(chǎn)流程、質(zhì)量控制體系以及設(shè)備先進性給予了高度評價客戶，并對于設(shè)備也提供了建設(shè)性意見。雙方會進一步加強合作，實現(xiàn)共贏！

【素材來源：科源窯爐實驗室】