KY-R-LQC400-6M型CVD爐是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng)，是高校、研究所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想設(shè)備。設(shè)備采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C。保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失。同時(shí)采用輕質(zhì)爐膛，熱效率高，能耗低，爐內(nèi)溫度均勻性好，可延長設(shè)備的使用效率。

KY-R-LQC400-6M型CVD爐產(chǎn)品特點(diǎn)

爐內(nèi)密封性及佳，可通入氮?dú)狻⒁胰?、甲烷、丙酮等混合氣體。

組合進(jìn)料方式，進(jìn)料量精準(zhǔn)控制。

配置電子流量計(jì)、蠕動(dòng)泵;爐內(nèi)溫度、壓力、流量自動(dòng)控制。

輕質(zhì)爐膛，熱效率高，能耗低，爐內(nèi)溫度均勻性好。

PLC全自動(dòng)控制整套工藝過程，通過觸摸屏操作簡潔直觀。

運(yùn)行平穩(wěn)， 宜維護(hù)，設(shè)備大小可根據(jù)需求非標(biāo)定制。

KY-R-LQC系列連續(xù)式CVD爐技術(shù)參數(shù)

KY-R-LQC系列間歇式CVD爐技術(shù)參數(shù)